Vol. 10, Issue 4, pp. 411-420
Abstract
In diesem Beitrag werden einige numerische Ergebnisse zur Modellierung der Beleuchtungsverhältnisse in optischen Systemen vorgestellt. Dabei werden die Einflüsse durch Dezentrierung der Lichtquelle und Öffnungsfehler hei verschiedenen Kohärenzparametern auf die Abbildungsqualität ausgewählter zweidimensionaler Objektstrukturen untersucht.