Vol. 10, Issue 4, pp. 411-420 (1980)

Vol. 10 Issue 4 pp. 411-420

Einige Effekte der partiell kohärenten Abbildung

L. Wendler, M. Nitsche

Abstract

In diesem Beitrag werden einige numerische Ergebnisse zur Modellierung der Beleuchtungsverhältnisse in optischen Systemen vorgestellt. Dabei werden die Einflüsse durch Dezentrierung der Lichtquelle und Öffnungsfehler hei verschiedenen Kohärenzparametern auf die Abbildungsqualität ausgewählter zweidimensionaler Objektstrukturen untersucht.

Vol. 10
Issue 4
pp. 411-420

0.82 MB

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Wrocław University of Science and Technology
Faculty of Fundamental Problems of Technology
Wybrzeże Wyspiańskiego 27
50-370 Wrocław, Poland

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